XQ15-GI 激光平面干涉儀
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XQ15-GI 激光平面干涉儀
技術參數：
1、第一標準平面（A面），工作直徑D1=φ146mm，平面的面形偏差小于0.03μm（λ/20）
2、第二標準平面（B面），工作直徑D2=φ140mm，平面的面形偏差小于0.03μm（λ/20）
3、準直系統：工作直徑φ146mm，孔徑F/2.8，焦距f=400mm
4、測微目鏡：焦距f=16.7mm；
5、視場角：2W=40?；放大倍數β=15X
6、成像物鏡：D=7，F=16
7、光源規格：ZN18（He-Ne）
8、干涉室尺：φ480*380*285mm
可選配攝像裝置
地址：上海市浦東新區?；?18弄16號
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